５．化学工業用真空ポンプ |
５．１ |
化学工業用真空ポンプの特徴 |
| ５．１．① | 化学、薬品、食品工業用真空ポンプの必要事項 |
| ５．１．② | 凝縮性ガスは湿式真空ポンプで |
| ５．１．③ | 水蒸気主体のガスの場合 |
| ５．１．④ | 耐蝕・耐酸真空ポンプ |
| ５．１．⑤ | 耐蝕・耐酸連段真空ポンプ |
| ５．１．⑥ | 付着物対策 |
５．２ |
化学工業用真空ポンプの機種比較 |
| ５．２．① | 空気エゼクター付真空ポンプは小型簡便型 |
| ５．２．② | メンテナンスコストも評価を |
| ５．２．③ | 化学、薬品、食品工業における ジェットリングと油回転・レシプロとの比較 |
| ５．２．④ | 化学、薬品、食品工業における ジェットリングとメカニカルブースターとの比較 |
| ５．２．⑤ | メッキ、コーティング品の危険性 |
| ５．２．⑥ | 構造矛盾型ポンプ＝分解修理不能型ポンプ |
| ５．２．⑦ | メカニカルブースターの重分子低減 |
５．３ |
チタン製真空ポンプと耐塩酸真空ポンプ |
| ５．３．① | チタン製水環真空ポンプ ＴＹＶＴ |
| ５．３．② | 耐蝕材、耐蝕表 |
| ５．３．③ | 全チタン製真空ポンプユニット ＴＹＶＴ・Ｃ |
| ５．３．④ | チタン製ジェットリング |
| ５．３．⑤ | 耐塩酸真空ポンプ |
| ５．３．⑥ | 現実的段階的材質選択 |
