3.2.F真空到達時間計算

真空到達時間に関しては、スタートアップ 真空引き 空引き 粗引き エバキュエイション ホギング 等の呼び名がありますが、全て同じ意味です。

真空容器(Vm3)を減圧するのに必要な時間の計算は、  

     t = ln P1
P2

       Q:真空ポンプの吸込状態容積量 m3/min
       P1:始めの圧力   P2:到達圧力
       t:所要時間 min

真空ポンプの吸込容積量が曲線をたどる時は、この式をもとに逐次計算することで得られます。
あるいは、本書の性能曲線図のような片対数グラフ上の曲線からは図積的手法で得られます。
即ち、P1ないしP2間の平均吸込量を、性能曲線を等面積分割する直線の吸込量として求めれば簡単です。
時間計算でわかるように、スタートアップ時間を半分にするためには、真空ポンプ容量を2倍にする必要があることになります。
AE付やSE付のような連段ポンプのスタートアップ時間の計画では、P1/P2比の大きい範囲のポンプ容量を大きくする方が有効となります。



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